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產(chǎn)品分類
Product Category系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù),是國內(nèi)可以實現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。
QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合,可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達(dá) 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進(jìn)行了優(yōu)化。
硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。
Thetametrisis膜厚測量儀FR-pRo是一個模塊化和可擴(kuò)展平臺的光學(xué)測量設(shè)備,用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。
光學(xué)厚度測量儀的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計、復(fù)合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。
FR-InLine 是一款模塊化可擴(kuò)展的在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀),可進(jìn)行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。 FR-InLine 膜厚儀并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個參數(shù)的實時測量,例如:反射率和透射率光譜、厚度、色座標(biāo)。 FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標(biāo)準(zhǔn) Windws 10/11 中執(zhí)行。