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晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)

簡要描述：Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。

  • 產(chǎn)品型號：Nanotronics nSpec LS
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時間：2024-11-09
  • 訪  問  量： 3514

詳細介紹

　　本產(chǎn)品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。
　　nSpec LS是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。
　　1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
　　·基板，外延和圖案化晶圓
　　·透明和不透明的材料
　　·在膠片膠帶，托盤，凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
　　·光罩
　　·樣品碎片
　　2. 系統(tǒng)特征
　　·多種分辨率設(shè)置，范圍從0.25 µm及更高
　　·快速掃描
　　·可定制的缺陷報告
　　·各種樣品夾頭可滿足特定需求
　　·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
　　·檢查和審查程序
　　·多系統(tǒng)同步
　　·占地面積小，設(shè)施要求zui少
　　·機架安裝控件
　　3. 系統(tǒng)參數(shù)
　　重量：318 kg
　　外觀尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm
　　zui小氣壓：24 in. Hg (70 kPa)
　　電源：110v/220v, 3.5 amps
　　光學(xué)器件：
　　照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
　　光源：白光LED(也可選其他)
　　物鏡倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用戶可選
　　工作臺：
　　典型行程：200 mm，X和Y方向
　　定位：帶有閉環(huán)編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)
　　重復(fù)性：+/- 0.5 µm
　　行程平整度：30 µm
　　結(jié)構(gòu)：精密地面滾道和交叉滾子軸承
　　支撐平臺：顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
　　中心負載能力：2.27 kg
　　重量：11.33 kg
　　尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm
　　備選功能：
　　AFM原子力顯微鏡：可根據(jù)要求提供規(guī)格
　　SECS/GEM
　　透射光
　　自動傳送晶圓片


 

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